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2022/8/23配信メルマガ

半導体向けの有機薄膜の膜厚ムラを高速、高感度に測定したいというご要望はありませんか？
元来高感度で知られる光学式膜厚測定装置「エリプソメータ」ですが
当社独自のフォトニック結晶技術により、超高速測定も実現しました。

従来エリプソメータとの違い

従来のエリプソメータは、測定対象が静止していることが必要でした。当社のエリプソメータME/SEシリーズは、移動中のサンプルを正確に測定することができます。これにより、圧倒的な高速性が実現します。

膜厚・屈折率分布計測装置エリプソメータの紹介
https://www.photonic-lattice.com/cat_products/ellipsometric-measurement/

アプリケーション事例

スピンコートした有機薄膜の厚さ分布
膜厚分布の３D表示例

マスクガラス上のレジスト膜厚分布
微小ムラの測定例

ラインナップ

高速マッピングエリプソメータ　ME-210/ME-210-T

https://www.photonic-lattice.com/products/me-210-me-210-t/

コンパクトタイプエリプソメータ　SE-101

https://www.photonic-lattice.com/products/se-101/

自動化例

自動搬送機と組み合わせたシステムもご提案できます。
マスクブランクスのレジスト膜厚分布測定用
自動搬送機付き高速マッピングエリプソメータ

ME-210-ALMG

標準仕様のSMIFポッドに対応

自動開閉機構と自動搬送機構により、全自動測定が実現しました。

実機によるデモを受付中！！

当社には高速マッピングエリプソメータのデモ機を常備しています。
是非、貴社のサンプルでその実力をお試しください（初回無償）。