2次元複屈折評価システム

WPA-300シリーズ

異なる波長で測定したデータ

合成された大きな位相差測定結果

WPA-300シリーズはWPA-200シリーズが持つ大きな位相差の測定性能はそのままに、偏光イメージセンサーの解像度を5倍にまで高めることで、より鮮明な測定が可能です。細かい小さな位相差の変化をより鮮明にデータ化することができます。

WPA-300スペック
	測定
出力項目	位相差(nm),位相軸方位(°) ※データ処理オプションにより応力値換算可(Mpa)
測定範囲	0～3500nm (水晶にて評価した場合)
繰返し再現性	σ<0.1nm
	センサユニット
複屈折画素数	約57万画素（データ点数：848 × 680)
測定波長	523nm, 543nm, 575nm
	筐体
寸法 (W x D x H)	270 × 380 × 最大624mm
測定視野サイズ	約36 × 45mm ～約100 × 133mm (標準レンズ) 約12 × 15mm ～約32 × 40mm (ズームレンズ ※オプション)
本体重量	約15kg
	その他
インターフェース	GigE (カメラ信号)
電源/消費電流	AC100～240V (50/60Hz) / ～5.0A
ソフトウェア	WPA-View
付属品	デスクトップパソコン、標準レンズ、取扱説明書
	オプション
ズームレンズ	対応
データ処理機能	対応
広視野補正機能	対応
レンズ解析機能	対応
リアルタイム解析機能	対応
外部制御機能	対応
波長分散（CD）モード	対応
WPA高位相差測定機能	要相談
レンズ測定専用ステージ	対応
PA・WPA用遮光カバー	対応
光弾性係数計測オプション	対応

WPA-300-L スペック
	測定
出力項目	位相差(nm),位相軸方位(°) ※データ処理オプションにより応力値換算可能 (Mpa)
測定範囲	0～3500nm (水晶にて評価した場合)
繰返し再現性	σ<0.1nm
	センサユニット
複屈折画素数	約57万画素（データ点数：848 × 680)
測定波長	523nm, 543nm, 575nm
	筐体
寸法 (W x D x H)	430 × 508 × 最大1135mm
測定視野サイズ	約36 × 45mm ～約255 × 320mm (標準レンズ) 約12 × 15mm ～約32 × 40mm (ズームレンズ ※オプション)
本体重量	約25kg
	その他
インターフェース	GigE (カメラ信号)
電源/消費電流	AC100～240V (50/60Hz) / ～5.0A
ソフトウェア	WPA-View
付属品	デスクトップパソコン、標準レンズ、取扱説明書
	オプション
ズームレンズ	対応
データ処理機能	対応
広視野補正機能	対応
レンズ解析機能	対応
リアルタイム解析機能	対応
外部制御機能	対応
波長分散（CD）モード	対応
WPA高位相差測定機能	要相談
レンズ測定専用ステージ	要相談
PA・WPA用遮光カバー	対応
光弾性係数計測オプション	対応

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