2次元複屈折評価システムPA/WPAシリーズ用データビューアソフト
PA-View Ver. 2.4.10.2 64bit対応版、WPA-View Ver. 2.4.10.2 64bit対応版をリリースしました。

主なリリース内容
– フィルム専用とウェーハ専用の広視野補正機能をリリース
– バグ修正、安定性向上、ユーザインタフェースの改善

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