深紫外(DUV)用 波長板

DUV波長板
深紫外の光に対応した真のゼロ次波長板です。
深紫外の波長域で入射角依存性が小さく、信頼性の高い波長板が実現できました。
全て無機材料で構成され、高い耐光性、耐熱性を持ちます。
波長266,313nm用です。材料に酸化ハフニウムを用いることによって深紫外においても高い透過率を実現しました。

トゥルーゼロ次波長板

フォトニック結晶の波長板は完全な0次波長板です(厚さ数ミクロン)。
DUV波長板
例えば水晶で波長266nm用のゼロ次1/2波長板を作ると、厚さは11ミクロン程度になりとても持てません。
しかしフォトニック結晶は石英板の上に成膜されているので取り扱いが容易です。
(自己クローニング技術のページへ) その上で水晶板のトゥルーゼロ次波長板と同等の優れた入射角依存性と波長依存性を有します。

高信頼性

基板には石英、多層膜には酸化シリコンと酸化ハフニウムの多層膜をもちいています。
400度の高熱でも変化がなく、高い信頼性を持っています。

領域分割

可視波長用と同様に1枚の基板上の任意の領域に任意の方位の波長板を実現できます。
領域分割
お客様のご要望に合わせた領域分割が可能です。
(自己クローニング技術のページへ)
(カスタマイズについて)

取り扱いが容易

表面が汚れても綿棒などで拭くことができます。波長板としての機能は多層膜が持っています。

素子の表面は数十nmの凹凸がありますが、多少凹凸が削れても特性は変化しません。

仕様

動作波長、位相差、有効領域、外形のカスタマイズお受けいたします。
仕様は予告なく変更されることがあります。ご留意ください。
深紫外(DUV)用波長板
中心波長266nm もしくは 313nm
透過率85%以上
位相差λ/4 ±λ/80 or λ/2 (±λ/40)
入射角垂直±10度
有効領域⌀10mm
欠陥仕様⌀300µm以上なきこと
ホルダー⌀25.4mmX5.5mmt