薄膜測定 エリプソメータ SE-102

  • 薄膜・屈折率の計測
  • 非破壊・非接触
  • 移動式でプロファイル計測(段差計と同等のデータが得られる)
  • 高解像度の面分布測定
  • 小型・低価格
SE-102

仕様

製品仕様は予告無しに変更することがあります。
SE-102
測定
繰返し再現性膜厚: 0.1nm, 屈折率: 0.001
測定速度 
光源半導体レーザ(発振波長 636nm)
測定スポット約 1mm角
入射角度70度
筐体
ステージサイズ最大4 inch対応 (手動ステージ(2軸)、自動ステージ(1軸))
寸法300 W × 235 D × 258 H [mm]
重量約9kg
その他
インターフェースGigE(カメラ信号)
電源AC100~240V
ソフトウェアSE-View
付属品ノートパソコン、取扱説明書、ソフトウェアCD、標準サンプル