ポイント測定エリプソメータ SE-101

卓上型の小型エリプソメータです。
他のシステムへの組み込みも容易な、低価格モデルです。
SE-101

仕様

※Si上のSiO2膜(膜厚約100nm)の1点を100回繰り返し測定時の標準偏差値
製品仕様は予告無しに変更することがあります。
SE-101
測定
繰返し再現性膜厚: 0.1nm, 屈折率: 0.001 ※
最小サンプリング間隔0.05秒(膜厚・光学定数解析含む)
光源半導体レーザ(発振波長 636nm)
測定スポット約 1mm角
入射角度70度
筐体
ステージサイズ最大4 inch対応 (オプション 手動ステージ XY軸 ±20mm)
寸法250 W × 175 D × 218.3 H [mm]
重量約5kg
その他
インターフェースGigE(カメラ信号)
電源AC100~240V
ソフトウェアSE-View
付属品ノートパソコン、取扱説明書、ソフトウェアCD、標準サンプル