ポイント測定エリプソメータSE-101

卓上型の小型エリプソメータです。
SE-101

仕様

  SE-101
測定
繰返し再現性 膜厚: 0.1nm, 屈折率: 0.001
測定速度 0.05秒/1測定点
光源 半導体レーザ(発振波長 636nm)
測定スポット 約 1mm角
入射角度 70度
筐体
ステージサイズ 最大4 inch対応 手動ステージ
寸法 250 W×175 D×218.3 H [mm]
重量 約4kg
その他
インターフェ-ス GigE(カメラ信号)
電源 AC100~240V
ソフトウェア SE-View
付属品 ノートパソコン、取扱説明書、ソフトウェアCD、標準サンプル
※製品仕様は予告無しに変更することがあります。