透明基板対応 高速マッピングエリプソメータ ME-210-T

ME-210-t

仕様

  ME-210-T
測定
繰返し再現性 膜厚: 0.1nm, 屈折率: 0.001
測定速度 最高 毎分1000点以上
光源 半導体レーザ(発振波長 636nm)
データ点サイズ 0.0055mm~0.5mm角
入射角度 70度
筐体
ステージサイズ 最大8インチウェハー対応
寸法 650 W×650 D × 1740 H [mm]
重量 約120kg
その他
インターフェ-ス GigE(カメラ信号)
電源 AC100~240V
ソフトウェア ME-View
付属品 デスクトップパソコン、モニター、取扱説明書、ソフトウェアCD、標準サンプル
※製品仕様は予告無しに変更することがあります。