ガラスの亀裂進展メカニズム解明
き裂進展挙動、応力緩和過程、破壊メカニズム
千葉大学大学院 工学研究院 加工物理学研究室 森田教授、比田井教授、松坂准教授
電子機器等に使用されるガラス基板は割断法によって所望の形状に分割されることが多く、機器の小型化･薄型化にともなって、破断面の品質向上が強く求められている。割断されたガラスの破面形態は、形成される亀裂の進展挙動に依存し、亀裂進展挙動はガラスの内部応力場によって決定される。従って、偏光計測法によって亀裂進展時のガラス内部応力場を把握することができれば、割断面の品質を推定することが可能となる。
CRYSTAは高い時間分解能で複屈折位相差を計測できることから、割断の際のガラス内部応力場の可視化手法として非常に有効である。我々は、亀裂進展挙動によって位相差変動の特徴が異なることに着目し、亀裂形成直後にリアルタイムで破断面形態を推定する手法を提案してきた。CRYSTAの高い時間分解能を活用すれば、破断面不良を即座に把握することが可能となるため、ガラス基板の製造･加工工程における歩留まり向上に貢献できるものと考えられる。
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